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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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誠(chéng)峰智造對(duì)晶圓等離子清洗機(jī)加工前處理的應(yīng)用

誠(chéng)峰智造對(duì)晶圓等離子清洗機(jī)加工前處理的應(yīng)用:
      伴隨著半導(dǎo)體材料技術(shù)的不斷進(jìn)步,尤其是半導(dǎo)體晶圓表層質(zhì)量要求也越來(lái)越高。根本原因是芯片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)污染會(huì)影響到設(shè)備的品質(zhì)與成品率。現(xiàn)階段,因?yàn)榫A表面的污染,集成電路芯片生產(chǎn)過(guò)程中仍有50%以上的材料丟失。

等離子清洗機(jī)


       芯片引線(xiàn)鍵合線(xiàn)的連接產(chǎn)品質(zhì)量是影響到設(shè)備可靠性的關(guān)鍵因素。連接線(xiàn)的連接范圍必須保證無(wú)污染,連接效果顯著。氧化物、有機(jī)殘留物等污染物的存有會(huì)嚴(yán)重削弱電纜連接的張力值。傳統(tǒng)上,濕式清洗不徹底或不能去除引線(xiàn)鍵合區(qū)域的污染物,等離子體清洗器的清洗可以有效去除引線(xiàn)鍵合范圍的表面污垢,激活其表面,大大提高連接線(xiàn)的引線(xiàn)鍵合強(qiáng)度,全面提高包裝設(shè)備的可靠性。
       在引線(xiàn)鍵合過(guò)程中,芯片與包裝基板之間往往有一定程度的附著力,通常是疏水和惰性的。引線(xiàn)鍵合性能差,引線(xiàn)鍵合界面容易出現(xiàn)間隙,給芯片帶來(lái)很大的隱患。等離子清洗機(jī)處理后,可有效提高芯片與包裝基板的表面活性,全面提高芯片與包裝基板表面環(huán)氧樹(shù)脂的附著力,提高芯片與包裝基板的附著力,降低芯片包裝的可靠性和穩(wěn)定性,延長(zhǎng)產(chǎn)品的使用壽命。
       用誠(chéng)峰智造等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)生的光plasma體,可有效去除處理材料表面的原始污染物和雜質(zhì),產(chǎn)生蝕刻效果,使樣品表面粗糙,產(chǎn)生許多小坑,增加接觸面積,提高表面濕度(俗話(huà)說(shuō),增強(qiáng)表面附著力,增強(qiáng)親水性)。等離子清洗機(jī)應(yīng)用廣泛,可解決粘接、印刷、噴涂、靜電去除等技術(shù)問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代制造技術(shù)追求的高質(zhì)量、高可靠性、高效率、低成本、生態(tài)環(huán)境保護(hù)目標(biāo)。


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